真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品,產(chǎn)量很大,產(chǎn)值不高,但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。在我國,真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品,但是雖然它的產(chǎn)量很大,但是產(chǎn)值卻不高。雖然真空泵是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品,不過在真空泵產(chǎn)品的高端領(lǐng)域.,國產(chǎn)品牌真空泵并不多,大量的市場份額被進(jìn)口企業(yè)所把持。真空泵的市場發(fā)展速度可以用日新月異來形容,幾乎每時(shí)每刻都在根據(jù)用戶需求的變動(dòng)而動(dòng)態(tài)變化著。真空泵市場增長的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展、真空泵技術(shù)不斷革新以及真空泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。
2015年3月16日,紐約PRNewswire,2015-2018中國真空泵行業(yè)報(bào)告中指出,真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等領(lǐng)域,近年來,隨著冶金、化工、食品等行業(yè)的快速發(fā)展,真空泵的市場也增長迅速。2014年,中國真空泵的產(chǎn)量達(dá)到956萬臺(tái),同比增長了7.2%。據(jù)此預(yù)測,至2018年這個(gè)數(shù)字很有可能攀升至1184萬臺(tái),其中有5.5%的年均復(fù)合增長率。
1干泵市場國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。
干式真空泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、電影、儀器、醫(yī)藥、食品等范圍廣泛的行業(yè),市場上超過50%的產(chǎn)品是進(jìn)口品牌,尤其在半導(dǎo)體行業(yè)中,絕大多數(shù)的真空泵均為國外品牌,國產(chǎn)真空泵主要應(yīng)用于化工等行業(yè)。
2水環(huán)式真空泵市場水環(huán)式真空泵行業(yè)在國內(nèi)和國際市場上發(fā)展形勢都十分看好,我國這幾年的水環(huán)式真空泵發(fā)展態(tài)勢十分好,專家預(yù)測,到2020年,中國的水環(huán)式真空泵進(jìn)口額將達(dá)到驚人的50億美元,超過美國的49億美元成為世界上最大的水環(huán)式真空泵進(jìn)口國。屆時(shí)將排在水環(huán)式真空泵進(jìn)口額3到6位的分別是:日本、印度、德國和法國。
近十年來,在少數(shù)水環(huán)式真空泵企業(yè)的帶動(dòng)下,多品種、密封性能、強(qiáng)度要求、調(diào)節(jié)功能、動(dòng)作性能和流通性能,特別是密封性能,都有了長足的進(jìn)步。但就整體來說,差距還很大,有很多工作要做。
3螺桿式真空泵市場目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響,一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求,因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn),但其制造技術(shù)為國外掌握,我國尚處于起步階段,市場對于干式真空泵有迫切的需求。
目前干式螺桿真空泵國內(nèi)的研究還處在起始階段,很多技術(shù)難題還沒有解決。比如轉(zhuǎn)子涂層防腐蝕技術(shù)、降低排氣口溫度、增大轉(zhuǎn)子面積利用率等問題仍然很棘手,當(dāng)抽取一些活潑氣體時(shí),由于排氣溫度高,安全性也是需要設(shè)計(jì)中考慮的,用在需要控制音量的場合,如何降噪也要成為研究方向。但其優(yōu)越的性能決定了它一定會(huì)在真空獲得設(shè)備行業(yè)占主導(dǎo)地位,就像現(xiàn)在螺桿壓縮機(jī)在行內(nèi)的統(tǒng)治地位一樣。
4旋片式真空泵市場隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價(jià)格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價(jià)格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜,所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。水環(huán)真空泵作為新一代節(jié)能型產(chǎn)品,在市場上普遍受歡迎,水環(huán)式真空泵目前已經(jīng)得到廣泛的使用,如在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、得到廣泛的應(yīng)用,在市場上的需求量大。
5滑閥式真空泵市場國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場,必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性。
6羅茨真空泵市場從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。目前,國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國際市場,這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量,提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運(yùn)行的可靠性。
目前,國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
7分子泵市場分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。
真空泵知名企業(yè)螺桿式真空泵
國內(nèi)廠家:信然螺桿真空泵【上海信然壓縮機(jī)有限公司】【信爾勝機(jī)械(江蘇)有限公司
信然噴油/干式螺桿真空泵技術(shù)
結(jié)構(gòu)簡單合理,零件種類、數(shù)量少,維護(hù)方便。比傳統(tǒng)真空泵節(jié)能明顯。
螺桿轉(zhuǎn)子
轉(zhuǎn)子型線嚙合均勻,密封性好,抽氣效率高;
轉(zhuǎn)子作G1級(jí)動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn),泵運(yùn)行震動(dòng)小。
精湛的設(shè)計(jì)與制造
排氣路徑短,減少制程物沉積;
采用密封式結(jié)構(gòu),避免了因動(dòng)密封磨損而出現(xiàn)的潤滑油外漏現(xiàn)象。
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轉(zhuǎn)子作G1級(jí)動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn),泵運(yùn)行震動(dòng)小。
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